磁控溅射玻璃的生产工艺

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  玻璃基片运入车间后，经人工检验，质量合乎要求地送进洗涤干燥机进行洗涤及干燥，洗净吹干的基片装入装片框，每架装一片，装片框沿轨道装入装载运输车，镀膜时将车上面的装片框推入溅射室，关闭溅射室门后，按照规定的程序进行抽真空，预溅射及溅射，每一个基片的前面装有一组可移动的溅射阴极及靶材，在溅射室的末端平行于基片处有一预溅射板，移动式阴极停于其前面，当溅射室到达规定的真空后通入工作气体。像阴极通电，即开始预溅射，由于此时溅射室杂质较多，且溅射粒子的能量较小，因此让这些粒子溅射到预溅射板上废弃不用，当电流密度，电压强度达到设定值后，此时离子的能量，溅射粒子的能量已达到要求，移动式阴极由传动装置带动，在基片前面移动，每移动一遍，即在基片上镀上一层膜，然后复位到溅射板前面，移动式阴极是一个阴极组，其上装有镀膜层所需各种膜材及相应数量的阴极，阴极组复位至预溅射板前面以后，即通电至阴极组的第二个阴极，当电流密度，电压强度达到设定值后再次在基片前面移动一遍，再镀上一层膜。
  如此镀上三层膜，然后溅射室停止抽真空，并接通大气，在室内压力与大气压相等时将溅射室门打开，人工将装片框自溅射室拉出，并将其推入装载运输车。装片框全部拉出后，人工启动装载运输车的传动装置，使运输车行驶一段距离，运输车停止的位置是第二批预先装入装载车的装有基片的装片框对准溅射室内吊挂轨道的地方。然后按照顺序将装片框推入溅射室。溅射室装满装片框后关闭室门，再 按上述程序进行溅射，依此周期地进行生产。
 完成后的LOW-E镀膜玻璃经人工检验合格后，在其表面施一薄层防擦伤衬垫，然后装箱入库。
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